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【采购】6英寸RIE刻蚀机、6英寸ICP刻蚀机采购公告
6英寸RIE刻蚀机、6英寸ICP刻蚀机采购公告
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6英寸RIE刻蚀机、6英寸ICP刻蚀机招标项目的潜在投标人应在网上报名获取招标文件，并于2025-10-13 09:00:00（北京时间）前递交投标文件。 |
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一、项目基本情况 |
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项目编号 |
2505EB25061427 |
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项目名称 |
6英寸RIE刻蚀机、6英寸ICP刻蚀机 |
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预算金额 |
29200000.00元 |
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最高限价（如有） |
29200000.00元 |
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采购需求 |
1.6英寸ICP刻蚀机：2台,a）SiC晶圆尺寸：6英寸； b）工艺腔室≥2个； c）刻蚀材料：SiC、多晶硅； d）刻蚀角度：≥75°，无微沟槽；,交货/服务地点：四川省绵阳市科学城甲方指定地点 2.6英寸RIE刻蚀机：2台,a）晶圆尺寸：6英寸； b）刻蚀薄膜：SiO2，Si3N4，SiON； c）刻蚀角度：≥75°；,交货/服务地点：四川省绵阳市科学城甲方指定地点 |
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合同履行期限 |
合同签订生效后8个月内完成交货；若因甲方场地不具备安装条件需要推迟交货时，以甲方书面通知交货时间为准 |
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本项目是否接受联合体投标 |
不接受 |
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二、申请人的资格要求 |
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基本资格要求 |
1.具有独立承担民事责任的能力； 2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； 3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； 4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； 5.参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； 6.法律、行政法规规定的其他条件。 |
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落实采购政策需满足的资格要求 |
无 |
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三、获取招标文件 |
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时间 |
时间：2025-09-17 08:50:00 至 2025-09-23 17:30:00 每日上午8:50时至11:40时，下午13:30时至17:30时（北京时间，法定节假日除外 ） |
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地点 |
网上报名获取招标文件 |
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售价 |
0 |
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四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 |
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时间 |
2025-10-13 09:00:00（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） |
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地点 |
详见招标文件 |
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联系方式 |
本次招标公告在招投标采购网【www.chinazbcgou.com.cn】媒介上进行发布。有意参加并符合条件的投标人，需先登录电子招标采购平台进行电子注册、经验证通过后参与招标活动。
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